Ø  內(nèi)腔無(wú)塵等級(jí)： Class 10~100

Ø  氧含量控制速率：<20ppm （動(dòng)態(tài)監(jiān)控）

Ø  系統(tǒng)真空度：<133Pa

Ø  干泵抽速：10min 達(dá)到要求的真空度，帶泄漏率監(jiān)測(cè)

Ø  溫度范圍： +60~ +620°C

Ø  工藝溫度范圍：+60~ +600°C

Ø  溫度均勻度： ±1.5% (空載)；

Ø  升溫速率：常溫～+600°C，升溫速率 0～8°C/min以?xún)?nèi)

Ø  溫控精度： ±0.1°C

Ø  烘箱擱板為活動(dòng)式，共兩片,擱板承重≥30kg

Ø  工作腔體尺寸:W450mm×H350mm×D620mm x 1 chamber

Ø  外形尺寸:W1310mm×H1765.1mm×D1200mm

Ø  加熱功率: 16Kw。

Ø  支持SECS/GEM & MES 聯(lián)機(jī)

Ø  設(shè)備認(rèn)證：SEMI S2

備注：可提供不同尺寸內(nèi)腔烘箱。