Aligner是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)晶圓進(jìn)行尋邊并對(duì)接的設(shè)備。 其工作原理主要是利用光學(xué)技術(shù)來(lái)對(duì)晶圓進(jìn)行邊緣定位。 Aligner晶圓尋邊器系統(tǒng)主要是由光源、光電傳感器、顯微鏡、控制平臺(tái)等組成。