晶圓FORK又稱牙叉、晶圓拾取器等，具有高潔凈度、高平面度和重量輕等特點(diǎn)，一般由氧化鋁陶瓷、不銹鋼、鋁合金等材質(zhì)構(gòu)成。

      產(chǎn)品執(zhí)行原理涵蓋了真空吸附、伯努利吸附、機(jī)械夾持、范德華力等多種方式。在實(shí)際應(yīng)用中微法爾團(tuán)隊(duì)可以對(duì)以上幾種原理進(jìn)行設(shè)計(jì)整合，對(duì)于大翹曲、非接觸、微接觸等要求可提供訂制解決方案。